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德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺

更新時間:2024-05-16

訪問量:1504

廠商性質:代理商

生產(chǎn)地址:

簡要描述:
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺,掃描顯微鏡,超分辨率顯微鏡,生物技術,掩模/晶圓定位,樣本定位,干涉測量,計量
品牌其他品牌價格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別進口產(chǎn)品種類電動
應用領域醫(yī)療衛(wèi)生,電子/電池,綜合

德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XCD



應用領域:

掃描顯微鏡

超分辨率顯微鏡

生物技術

掩模/晶圓定位

樣本定位

干涉測量

計量


產(chǎn)品參數(shù):

型號:P-541.ZCD

主動軸:Z

集成傳感器:電容式

-20120 伏時Z向上的開環(huán)行程:150微米

θX、θY向上-20120 伏時的開環(huán)偏擺角:–毫弧度

Z向上的閉環(huán)行程:100微米

θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角:–毫弧度

Z向上的分辨率,開環(huán):0.2納米

θX、θY向上的開環(huán)分辨率:–微弧度

Z向上的閉環(huán)分辨率:0.5納米

θX、θY向上的閉環(huán)分辨率:–微弧度

Z、θX、θY向上的線性誤差:0.03%

Z向上的重復精度:<2納米

θX、θY向上的重復精度:–微弧度

θX、θY向上的串擾(Z向運動):±15微弧度


產(chǎn)品參數(shù):

型號:P-541.TCD

主動軸:Z,θX,θY

集成傳感器:電容式

-20120 伏時Z向上的開環(huán)行程:150微米

θX、θY向上-20120 伏時的開環(huán)偏擺角:±0.6毫弧度

Z向上的閉環(huán)行程:100微米

θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角:±0.4毫弧度

Z向上的分辨率,開環(huán):0.2納米

θX、θY向上的開環(huán)分辨率:0.02微弧度

Z向上的閉環(huán)分辨率:0.5納米

θX、θY向上的閉環(huán)分辨率:0.08微弧度

Z、θX、θY向上的線性誤差:0.03%

Z向上的重復精度:<2納米

θX、θY向上的重復精度:0.01微弧度

θX、θY向上的串擾(Z向運動):±15微弧度


德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XCD




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